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  極限真空度　　　Pa

5.0×10^-4 （清潔、干燥、空載）

  恢(hui)復真空時間　　Pa

18（從大氣～10^-2Pa）

  基材

PET、PVC、PE等(deng)

  有效(xiao)鍍(du)幅　　　　mm

800

1200

2000

  最大卷徑　　　　mm

Φ350～Φ600

  鍍膜速度　　　m/min

0.5～10

  磁(ci)控靶數目(mu) 　 　只

3～5

  靶(ba)材(cai)　　　　

ITO、鋁、銅、鎳、鈦、二氧化硅等

  濺射壓力　　　　Pa

1～0.1

  濺射(she)電壓　　　　V

300～600（D.C或MF）

  工(gong)作氣體(ti)

Ar、 O₂純度99.99%

  氣(qi)體(ti)流量控制(zhi)方式

質量流量控制(zhi)器(qi)